英国密析尔 高纯氮气露点传感器 亮点 应用 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV) 高纯气 稳定而可重复的测量 半导体制造 模拟和数字输出 光纤生产 安装简单 电子元件制造 VCR 过程连接 快速响应 高纯气体微量露点变送器 在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分 对于工艺操作的影响是至关重要。

根据以往的经验，微量水分测量一直是一个难题，这需要 使用复杂或昂贵的分析仪测量。

Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准 的经验和专长。

工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送 器，适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。

使用简单 这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用 中，并可提供可靠的测量结果。

Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成，内部采用 0.25Ra μm 电抛光技术 ，以达到小的吸湿性，洁净度达到清洁室 标准。

该变送器交付完整的校准和操作，并提供 4-20mA 的校准输 出，能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。

该产品的设计具有小的内部结构。

这确保了过程应用中快 的响应速度，也保证了湿度测量时的快响应速度。

传感器密 封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作，同 服务与校准 密析尔为想要少停机时间和设备可追溯性的用户提供以下两 种服务： 传感器替换 –用户可以签订一个有保障的合同，可以更换 传感器。

当传感器出现问题时，可以把更换下来的传感器 返回密析尔检测，从而实现零停机时间。

校准 – 用户将传感器返回密析尔，密析尔会对返回的传感 器进行检查和校准。

这样为过程中的传感器就可以实现可追 溯性。

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