英国密析尔 PURA 高纯氮气露点传感器 亮点 应用 测量范围低可达-120°Cdp (1ppbV) 高纯气 稳定而可重复的测量 半导体制造 模拟和数字输出 光纤生产 安装简单 电子元件制造 VCR 过程连接 快速响应 高纯气体微量露点变送器 在许多高纯气体的应用中，如半导体行业，气体的残留水分 对于工艺操作的影响是至关重要。

根据以往的经验，微量水分测量一直是一个难题，这需要 使用复杂或昂贵的分析仪测量。

现在，密析尔推出了一款 简单、经济的产品，可以在线测量露点达-120°C （小于 1ppb）。

Pura 露点变送器的优势在于密析尔阻抗传感器生产和校准 的经验和专长。

工业标准材料和制造工艺结合的低成本变送 器，适用于大规模集成半导体制造厂或高纯气体管线中。

使用简单 这种独立的变送器设计成可无缝接入纯气的过程应用 中，并可提供可靠的测量结果。

Pura 的传感器外壳是由冷拉不锈钢制成，内部采用 0.25Ra μm 电抛光技术 ，以达到小的吸湿性，洁净度达到清洁室 标准。

该变送器交付完整的校准和操作，并提供 4-20mA 的校准输 出，能够连接到密析尔的显示模块或中央控制系统。

该产品的设计具有小的内部结构。

这确保了过程应用中快 的响应速度，也保证了湿度测量时的快响应速度。

传感器密 封垫圈可以在小压力 10-9torr 内工作，同 服务与校准 密析尔为想要少停机时间和设备可追溯性的用户提供以下两 种服务： 传感器替换 –用户可以签订一个有保障的合同，可以更换 传感器。

当传感器出现问题时，可以把更换下来的传感器 返回密析尔检测，从而实现零停机时间。

校准 – 用户将传感器返回密析尔，密析尔会对返回的传感 器进行检查和校准。

这样为过程中的传感器就可以实现可追 溯性。

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