PEM050 电子步进泵可在 PTFE 流体路径中**分配 1-50 毫升腐蚀性介质，用于化学补充、混合、计量和加料应用。
这些可靠的泵具有完全支撑的滚动隔膜，可**限度地提高排放压力能力。
正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。
它们提供**多 5 个排放端口，可通过可编程系统逻辑独立控制。
PPM100 气动计量泵可在 PTFE 流体路径中**分配高达 100 毫升的高纯度化学品。
它采用全支撑滚动隔膜操作，以**程度地提高排放压力能力。
两个正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。
White Knight 计量泵提供可调节的流量，可用于单晶圆处理工具或预混容器，以确保**的化学混合物，并允许直接在头部进行现场混合。
这些泵可**分配高纯度化学品，用于补充、混合、计量和加料应用，以及清洁 CVD 设备和光刻。
它们是光刻胶、蚀刻和清洁工艺、食人鱼混合物中的过氧化物加料以及在引入基材之前将化学混合物混合到工艺罐中的理想选择。
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PEM050
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PPM100
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|---|---|---|
| 分配范围 |
每冲程 1 - 50 毫升
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每次冲程 10 - 100 毫升
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| 分配重复性 |
± 0.01%（满量程）
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± 0.1%（满量程）
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| 每分钟循环次数 |
**可达 6 CPM
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**可达 12 CPM
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每循环空气消耗量SCF |
1-3 标准立方英尺/分钟
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0.038-0.048 标准立方英尺/分钟
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| 流体路径材料 |
聚四氟乙烯
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聚四氟乙烯
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| 阀门驱动 气压 |
4.14 - 5.52 巴
（60 - 80 磅/平方英寸） |
4.14 - 5.86 巴
（60 - 85 磅/平方英寸） |
| **排气压力 |
3.8 巴
（55 磅/平方英寸） |
5.86 巴
（85 磅/平方英寸） |
| 温度能力 |
** 100°C
(212°F) |
** 100°C
(212°F) |
| 重量 |
2.95 千克
（6.5 磅） |
1.6 千克
（3.5 磅） |
| 吸程* |
4.6 米
（15 英尺） |
4.6 米
（15 英尺） |
| 沟通 |
串行、以太网或数字（0-5 V、0-10 V、4-20 mA）
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-
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| 泄漏检测选项 |
阀门位置传感
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阀门位置传感
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PEM050
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PPM100
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*吸力随时间减小。
建议安装高度低于源头上方 4.6 米（15 英尺）。
优化的参数可以提高重复性（高达 ± 0.01%）。
尽量减少吸力以**程度地提高重复性。
测试在环境温度下用水进行。
分配范围在全行程测量，**和**小供应压力分别为 80 psi 和 60 psi。
详情请联系 White Knight。
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“A”
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“B”
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|---|---|---|
| PEM050-02 |
2.7（69）
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11.0（279）
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| PEM050-03 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-04 |
4.2（107）
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12.5（318）
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| PEM050-05 |
5.7（145）
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14.0（356）
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| PEM050-06 |
5.7（145）
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14.0（356）
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