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MO/CVD/ALD源瓶

  • 发布时间:2025年05月19日 16:00
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商品详情

源瓶特点:

1、所有管件采用316L不锈钢,内部经400目机械抛光和电化学抛光,Ra≦0.25微米;

2、阀门有美国世伟洛克波纹管密封阀和隔膜阀、日本富士金隔膜阀供选择;

3、密封垫片选用纯银镀镍垫片;

4、氦质谱检测泄漏率≦1.0*10-10mbar L/s;

5、可盛装化学品纯度≧99.9995;

6、总残余元素量≦50PPb;

7、介质,TMG\TEG\TMA\TMIN\DEE等;

8、可选择气动阀门或者实现在注入端子、输出端子以及接口之间的交叉清扫处理等;

9、可提供非标定做。













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