硅层该Mscan可配置用于高速颜色检测设备。

颜色对于检测多种硅缺陷**为重要。

这些缺陷不能被单色相机检测到。

钝化层非常薄，厚度变化产生了干扰图案，这样不用改变整体强度便可以改变反射光线的颜色分布。

像素大小可调整到200纳米。

该系统同时支持的反射和透射照明。

透射照明是用于检测玻璃板和过滤器。

Beltronics*的自动跟踪系统，能够用于高分辨率光学检测，以确保非常小的缺陷在高扫描速度下可以被检测到。

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