ART系列运动平台是星微科技一款面向中低端市场、性价比**高的精密运动定位台，通过研发团队不断优化材料及工艺使平台的平面度、直线度等方面达到*，并且完全可以按照客户的需求来选择该系列高、低精度两类产品，该系列产品能满足广泛的市场需求。

       ART系列运动平台采用U型槽式直线电机驱动，这种电机结构简单，定位精度高，反应速度快、灵敏度高，随动性好，可以实现无接触传递力，机械摩擦损耗几乎为零，所以故障少，免维修，因而工作安全可靠、寿命长，结合PID闭环智能控制技术，LGS系列运动平台*加速度可以达到2G，*速度500M/s，*精度2uM。

        ART系列运动平台为微光刻技术、数控加工、生物技术、IC 封装设备、纳米表面形貌测量等领域提供一个能够实现精密定位和*运动的载物平台，在*的电子制造设备比如光刻机贴片机等，高性能的运动平台是其工作的主要机构。

此外，在还可作为微型机电系统的制造和检测、光学测量加工领域、超精密机械加工、航空发动机测量制造等精密定位的理想选择。

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