济宁协力特种气体有限公司--四氟化碳 产品名称: 四氟化碳 其他名称: *、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride 分子式: CF4 UN No. UN1956 CAS No. 75-73-0 产品纯度:99.99~99.999%  包装说明: 47L DOT钢瓶，钢瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材质阀门，阀门型号CGA660；40L高压无缝钢瓶，净重30kg/瓶，瓶头阀是铜质阀门是QF-2，出口螺纹是G5/8 产品说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的压缩气体，充装于四氟化碳钢瓶中，饱和蒸汽压约压力2000 psig。

四氟化碳是目前微电子工业中用量*的等离子蚀刻气体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制*火箭姿态，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

由于四氟化碳的化学稳定性，四氟化碳可用于金属冶炼，例如：铜、不锈钢，碳钢、铝、蒙乃尔等；还可用于塑料行业；如：合成橡胶、氯丁橡胶、聚*甲酸*。

  注意事项: 四氟化碳是不燃性压缩气体。

储存于阴凉、通风仓间内。

仓内温度不宜超过60℃。

远离火种、热源。

防止阳光直射。

应与易燃或可燃物分开存放。

验收时要注意品名，注意验瓶日期，*仓的先发用。

搬运四氟化碳时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。

泄漏时，应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。

建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。

尽可能切断泄漏源。

合理通风，加速扩散。

如有可能，即时使用。

漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

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