本镀膜机主要应用于大专院校、科研机构、企业实验室及微小产品进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制、操作培训和生产。
该设备主机与控制一体化设计,操控方便;结构紧凑,占地面积小。
该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等,深受广大用户好评。
技术参数: 1、真空腔室:ф300×H360mm, 304 *不锈钢真空腔室/(不包含真空机组, 480x320x460mm宽X高X深) 2、真空系统:复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统,数显复合真空计; 3、真空**限:(空载)8.0×10-5Pa; 4、漏率:≤0.8Pa/h; 5、抽速:(空载)从大气抽至 5.0×10-3Pa≤13min; 6、膜厚不均匀性:≤±5%(基片台Φ80mm 范围内); 7、其他:磁控溅射和蒸发镀一体机等。
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