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TJ衬底晶圆激光加工单晶硅微结构切割来图来样

  • 发布时间:2023年10月29日 14:14
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商品详情
TJ衬底晶圆激光加工单晶硅微结构切割来图来样 硅片切割机又名硅片激光切割机,激光划片机。

是激光划片机在 电子行业硅基片的切割的又一新领域的应用。

激光划片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。

因激光是经光学系统聚焦后成为一个非常小的光点,能量密度高,因其加工是非接触式的,对工件本身无机械冲压力,工件不易变形。

热影响**小,划精度高,应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片。

硅片的分类: 硅片规格有多种分类方法,可以按照硅片直径:4寸、6寸、12寸、3英寸、2英寸;单晶生长方法:单晶硅片、多晶硅片;掺杂类型:N型、P型等参量和用途来划分种类。

晶圆是制造IC的基本原料,而晶圆便是硅元素加以纯化,接着将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,再经过照相制版、研磨、抛光、切片等程序,将多晶硅融解后拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。

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