喷涂氧化铌靶材 Spray NbOx Target 产品说明Product description 以等离子体为热源将Nb2O5粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层,从而制备出高纯度、高致密度NbOx靶材。
With plasma as heat source, high purity and high density NbOx target is produced from Nb2O5 powder, which is heated to molten or semi-molten state and de*ited on the surface of backing tube at high speeds to form dense coatings. 项目 Item 参数 Specifications 检测手段 Testing method 纯度 Purity ≥99.9% 密度 Density ≥4.7 g/cm3 阿基米德密度仪 Archimedes densimeter 杂质含量 Impurities Ta: ≤200 ppm Si: ≤80 ppm Fe: ≤80 ppm Al: ≤30 ppm W: ≤30 ppm Cu: ≤30 ppm 杂质总和 (Total impurity):≤1000 ppm 化学分析 Chemical analysis 电阻率 Electrical resistivity ≤0.2 Ωcm 四探针电阻率仪 Four probe resistivity meter 建议功率 Recommended power 15 kw/m 背管材质 Backing tube -选用304/316L不锈钢(无磁)。
304/316L stainless steel (non-magnetic). 靶材尺寸Dimension -按照图纸要求加工 According to the customized drawings. 应用领域Applications -主要用于LOW-E镀膜玻璃,薄膜太阳能电池电**膜系,TFT-LCD,半导体电子。
LOW-E glasses, electrodes of thin film solar cells, TFT-LCD, semiconductor devices. 标签: 玻璃镀膜 磁控溅射 真空镀膜 low- 喷涂靶材 玻璃镀膜靶材 磁控溅射靶材 真空镀膜靶材 low-E镀膜材料 喷涂靶材 合肥市氧化铌靶材 合肥市氧化铌靶材厂家
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