为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。

靶材的密度不仅影响溅射速率，*回收铟锭，还影响着薄膜的电学和光学性能。

靶材密度越高，薄膜的性能越好。

此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。

密度也是靶材的关键性能指标之一。

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