溅射靶材 北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,金属靶材公司,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。
公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
铝靶材的分类: 铝靶材有平面铝靶材和旋转铝靶材之分平面铝靶材是片状的,有圆形、方形等。
旋转铝靶材是管状的,利用效率高,但不易加工,要通过高纯铝挤压、拉伸、校直热处理,机加工等多种加工工序才能**终制得铝旋转靶材成品。
铝靶材的生产方法:1、铝的生产和提纯[2] :铝是从铝土矿中提取Al2O3,再在熔融冰晶石中电解而得到的,金属靶材,纯度一般在99%以上,但这样纯度的铝根本无法作为生产铝靶材的原材料,铝靶材对铝材的第1个要求也是**重要的要求就是纯度要高,铝靶材所用的高纯铝是再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法生产而成的,价格要比工业纯铝99.7贵很多,目前国内高纯度在99.9999%(6N)左右。
2、铝靶材的变形处理:有了高纯度铝锭作为原材料,对原材料进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。
3、对变形处理后的高纯度铝材料进行机械加工,高纯金属靶材,铝靶材加工要求精度高、表面质量高,加工成真空镀膜机所需的靶材尺寸就可以了,铝靶材与镀膜机多以螺纹相连接。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~ 溅射靶材使用指南及注意事项 北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年,稀土金属靶材, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。
公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
溅射靶材保持真空腔体尤其是溅射系统洁净是非常重要的。
任何由润滑油和灰尘以及前期镀膜所形成的残留物会收集水气及其他污染物,直接影响真空度获得和增加成膜失败的可能性。
短路或靶材起弧,成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射*和靶材引起的。
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